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液氮在半導(dǎo)體制造上的應(yīng)用

發(fā)布日期： 2024-03-12 內(nèi)容來(lái)源于： http://jinbangty.com/

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(1)在氧化、擴(kuò)散等制造工藝過(guò)程中，設(shè)置液氮冷阱來(lái)去除氣體中的水分。


(2)在掃描電子顯微鏡中，檢測(cè)信號(hào)用的Si-Li探測(cè)器，必須一刻不離地采用液氮來(lái)冷卻。


(3)有時(shí)為了檢測(cè)元器件受冷熱循環(huán)作用的影響效果，可采用液氮。

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